SECS/GEM技术咨询
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国内外优秀商务合作伙伴认可的体现GEM通信环境的最佳解决方案
基于XGemPRO( 默认特征相同)
支持SEMI E39(OSS), E40(PM), E87(CMS), E90(STS), E94(CJM), E116(EPT)
GEM, 300mm, SECS消息的自动配置和处理
XGem300PRO基本包含XGemPRO,是额外支持300mm系列使用的scenario的产品。 支持SEMI E30、E39、E40、E87、E90、E94、E116配置,生成及管理Carrier、Substrate、Control Job、Process Job等的Object,帮助用户轻松应对300mm的scenario。