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XEIC

In-line System Equipment I/F Controller

产品摘要

  以标准化的接口集合,并支持SECS/GEM通信

  支持SEMI标准E4、E5、E37、E30规格

  IN LINE装备最多可配置10台

产品概要

XGem IN LINE是将采用XGemPRO的各种设备整合为一个内线系统,便于管理的解决方案。
与XGemPRO接口联动,因此仅通过简单的设置就可以实现内线系统。
在线系统内的设备配置最多可配置10台,支持SEMI标准E4、E5、E37、E30规格。



主要特征及功能

1) 支持SECS/GEM 服务

  • 支持设备数据的收集及事件报警及报警服务
  • 支持指定模块RCMD、 RECIPE 传输。


2) 支持由IN LINE系统组成的多数设备联动。

  • 最多支持10台连接。


3) 支持与PLC基础设备联动。

  • 支持三菱型号
  • 预计支持LS产电、OMRON等。


4) 支持配置设备之间的数据收发功能。



5) 支持Config Tool

  • 支持按设备分类的GEM信息登录。
  • 支持与通信相关的Parameter设置。
  • 支持PLC与GEM信息之间的MAPPING功能。

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