SECS/GEM技术咨询
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Product
In-line System Equipment I/F Controller
以标准化的接口集合,并支持SECS/GEM通信
支持SEMI标准E4、E5、E37、E30规格
IN LINE装备最多可配置10台
XGem IN LINE是将采用XGemPRO的各种设备整合为一个内线系统,便于管理的解决方案。 与XGemPRO接口联动,因此仅通过简单的设置就可以实现内线系统。 在线系统内的设备配置最多可配置10台,支持SEMI标准E4、E5、E37、E30规格。
1) 支持SECS/GEM 服务
2) 支持由IN LINE系统组成的多数设备联动。
3) 支持与PLC基础设备联动。
4) 支持配置设备之间的数据收发功能。
5) 支持Config Tool