SECS/GEM技术咨询
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国内外优秀商务合作伙伴认可的体现SECS通信环境的最佳解决方案
支持 SEMI E4、E37。
Recipeagement功能更新。
支持半导体及平板显示设备网站标准通信协议.
XComPRO SECS驱动器是支持半导体及平板显示器设备间标准通信协议SECS*更简单方便使用的通信驱动器。 特别是在单一控制内,支持利用RS-232C通信的SECS-I和利用TCP/IP的HSMS方式,因此根据需要,用同样的控制和使用方法可以有效应对工作环境的变化。
* SECS: SEMI Equipment Communications Standard
1) XComPRO主要特征
2) SECS-I主要功能
3) SECS-II主要功能
4) HSMS 主要功能
1) 支持Configuration Tool
2) Simulator Tool
3) LogViewer