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국내외 우수 비즈니스 파트너가 인정한 GEM 환경 구현 최적 솔루션
XGemPRO 기반(기본 특징 동일)
SEMI E39(OSS), E40(PM), E87(CMS), E90(STS), E94(CJM), E116(EPT) 지원
GEM, 300mm SECS 메시지 자동 구성 및 처리
XGem300PRO는 XGemPRO를 기본으로 포함하고 있으며, 300mm 라인에서 사용하는 시나리오를 추가 지원하는 제품입니다. SEMI E30, E39, E40, E87, E90, E94, E116 사양을 지원하며 Carrier, Substrate, Control Job, Process Job 등의 Object를 생성, 관리하여 사용자가 쉽게 300mm 시나리오를 대응할 수 있게 도와줍니다.