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In-line System Equipment I/F Controller
표준화된 인터페이스로 통합하여 SECS/GEM 통신을 지원
SEMI 표준 E4, E5, E37, E30 사양을 지원
인라인 장비 구성은 최대 10대까지 가능
XEIC는 XGemPRO가 적용된 다양한 장비들을 하나의 인라인 시스템으로 통합 관리하기 편리한 솔루션입니다. XGemPRO 인터페이스와 연동되므로 간단한 설정만으로 인라인 시스템을 구현 할 수 있습니다. 인라인 시스템 내 장비 구성은 최대 10대까지 가능하며, SEMI 표준 E4, E5, E37, E30 사양을 지원합니다.
1) SECS/GEM 서비스 지원
2) 인라인 시스템으로 구성되는 다수 장비 연동 지원
3) PLC 기반 장비와 연동 지원
4) 구성 장비들 간 데이터 송수신 기능 지원
5) Config Tool 지원