SECS/GEM 및 테스트 자동화 시장 선도기업, AI 비전 및 스마트 팩토리 솔루션

XGem300은 XGem사양에 300사양(E87, E94, E90, E40)이 추가된 제품 입니다.

E40, E87, E90, E94사양의 내용은 다음과 같습니다.


SEMI E40 : STANDARD FOR PROCESSING MANAGEMENT

- 장비에 전달된 Material에 적절한 Processing(Recipe)가 적용 되도록 하는 것, (S16계열 메시지 사용.)


SEMI E87 : SPECIFICATIONS FOR CARRIER MANAGEMENT

- Carrier Transfer를 자동화 시키기 위한 데이터 서비스들을 정의. (S3계열 메시지 사용.)


SEMI E90 : SPECIFICATION FOR SUBSTRATE TRACKING

- 장비에서 생산된 substrate를 관리하기 위한 서비스. ( Substrate 위치 추적 등, S14계열 메시지 사용)


SEMI E94 : SPECIFICATION FOR CONTROL JOB MANAGEMENT

- 하나 이상의 Material을 처리하기 위한 ProcessJob들을 정의하는 Object (S14계열 메시지 사용)