GEM 이란?
SEMI에서 장비의 동작에 대한 시나리오와 이때 사용되는 메시지를 묶어서 장비 구동에 관한 표준을 마련했는데, 이 표준이 E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment이고, 이를 간단히 줄여서 GEM(Generic Equipment Model)이라고 부릅니다.
GEM에서는 기능에 따른 장비의 동작 시나리오를 지정하고, 이 시나리오에 따라 필요한 SECS-II 메시지를 선정해서 표준으로 삼고 있습니다.
XGem은 GEM(Generic Equipments Model)의 통신/제어를 보다 쉽고 간편하게 대응할 수 있도록 지원하는 S/W 드라이버입니다