생산 정보 자동화

XGemPro GEM Driver

국내ㆍ외 우수 비즈니스 파트너가 인정한

GEM 환경 구현의 최적 솔루션!

XGemPro / XGem300Pro

· GEM 통신 드라이버

· SEMI E4, E5, E30, E37, E40, E87, E90, E94 지원

· XCOM 기능, GEM 기능, 300mm 시나리오 기능

XGemPro

XGemPro GEM 드라이버는 반도체 장비의 GEM 통신/제어를 보다 쉽고 간편하게 대응할 수 있는 GEM 통신용 드라이버로 SEMI E30 GEM 사양을 지원합니다. 복잡한 GEM 시나리오와 관련된 데이터를 Configuration 툴 상에서 간단히 정의하여 GEM 통신/제어를 자동으로 수행하기 때문에 개발 비용을 절감하고 생산성을 향상시킵니다.

XGem300Pro

XGem300Pro는 XGemPro를 기본으로 포함하고 있으며, 300mm 라인에서 사용하는 시나리오를 추가 지원하는 제품입니다. SEMI E30, E40, E87, E90, E94 사양을 지원합니다. XGem300Pro는 Carrier, Substrate, Control Job, Process Job 등의 Object 를 생성, 관리하여 사용자가 쉽게 300mm 시나리오를 대응할 수 있게 도와줍니다.

특징과 주요기능

1) XGemPro 특징

· SEMI E30(GEM) 지원 · 검증된 SECS 통신 (XCom SECS 드라이버 사용)
· ActiveX 기반의 OCX 형태
· 다양한 개발 툴 지원 (Visual C++, Visual Basic, C#, Delphi, C++ Builder)
· GEM SECS 메세지 자동 구성 및 처리
· GEM 시나리오에서 사용하는 기본 데이터 자동 생성
· 사용자 메세지 등록 후 사용 가능
· 사용자 시나리오 구성 가능
· 64비트 API 지원

2) XGem300Pro 특징

· >XGemPro 기반 (기본 특징 동일)
· E40(PM), E87(CMS), E90(STS), E94(CJM) 지원
· GEM, 300mm SECS 메시지 자동 구성 및 처리
· GEM, 300mm 시나리오에서 사용하는 기본 데이터 자동 생성

3) 지원 표준

· SEMI E87 (Specification For Carrier Management)
· SEMI E94 (Specification For Control Job Management)
· SEMI E30 (Generic Model For Communications And Control Of Manufacturing Equipment)
· SEMI E4 (SEMI Equipment Communication Standard 1 Message Transfer)
· SEMI E5 (SEMI Equipment Communication Standard 2 Message Content)
· SEMI E37 (HIGH-SPEED SECS Message Services)
· SEMI E40 (Standard For Processing Management)
· SEMI E90 (Specification For Substrate Tracking)

4) XGemPro 주요기능

· State Model (Communications State Model, Control State Model) 자동 지원

· 간편한 Dynamic(Fixed) Event Report 등록 및 설정
· 사용자의 실시간 데이터를 Trace 메세지로 자동 처리

· Spooling State에 따른 메세지 관리 및 전송

5) XGem / XGem300 사용 예

제품 Line-Up

· XGemPro : SEMI E30(GEM) 지원
· XGem300Pro : SEMI E30(GEM)을 기본으로 지원하며, E40(PM), E87(CMS), E90(STS), E94(CJM) 지원

권장 시스템 환경

· CPU : 펜티엄 듀얼 코어 이상
· Memory : 3GB 이상
· OS : Windows XP SP2 / Windows Server 2003 SP2 / Windows Server 2008 /
          Windows Vista SP1 / Windows 7 / Windows 8 / Windows 8.1 / Windows 10
          (Configuration 툴은 Microsoft® .NET Framework 4.0 이상 동작)
· Protection Key 용 Port: Parallel Port 또는 USB Port



XGemPro/XGem300Pro GEM Driver는 SECS 시스템 구현과 테스트를 위한 편리한 지원 툴을 함께 제공하고 있습니다.

Configuration 툴

시뮬레이터 툴

· 메세지 시나리오 기능 (메세지 별 순차 자동 발생 및 Loop 기능 등)
· 응답 메세지 자동 Reply
· 메세지 아이템 별 값 설정
· 메세지 별 통신 테스트